半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件一个首测模块化涉重生产废水——MVR强迫循环系统零排工程
新项目经验
半导体行业设备高端品牌公测投资大型项目,市场规模150万m³/天,是首条半导体行业设备公测配置涉重生产生活污水零排投资大型项目。公测基本原则的镀镍、镀铜、引线眼镜框架擦拭会发生含镍含铜生产生活污水,该项目想要"无尾水外排",产水其他回收于产线。
地表水显著特点与常见问题
废气以含镍偏重于(溶度10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH下跌大(2–12),还光刻胶残余物的一少部分有机化学物。公测厂办公场地紧,让加工场地设施占地面积小;零排象征着浓水无法土石方工程太大,都要本机化掉凝结前馈。
清理工学院艺路径
全局走"分质抽取 → 预进行处理除杂 → 耐腐蚀积累除镍 → 筛选 → UF+多级RO → MVR强制性要求配置汽化 → 冷凝器水使用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢加硫钠添加Ni(OH)₂放置,加个加硫钠高度捕集器多余镍(加硫镍Ksp比氢加硫镍更小,能够将镍压到0.1毫克/升接下来);
积淀出液经多物料过虑+安保过虑后进UF,再进考试内容一级RO,产水之间回产线的洗涤;
RO浓水(含盐+残存高价属)进MVR强行无限反复的减压蒸馏器,强行无限反复的能扛高含盐水垢,减压蒸馏器自建迅雷在线洗掉,很难堵;
MVR空气冷却水回去循环鱼池,挥发残液委外焚烧秸秆或当作垃圾应急处置,全部整个生产区无固体外排。
核心主设备特点情况说明
MVR禁止嵌套循环往复相对比硬性降膜多效蒸发器掉,嵌套循环往复流体密度高、对流换热系数面很容易结镍盐/碳酸盐垢,是和测封类似这些"排水量不但土质杂"的场景装修设计;内置式化撬装装修设计占地面积比老式多效蒸发器掉塘+多效多效蒸发器掉方案格式小60%这;恶臭侧配套工程动物滤池,把调高池和飞灰间的恶臭收录后降解塑料成CO₂和水,应对测封厂紧挨着办公室区的刺鼻味道投拆。
正确处理成果与效用
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,依赖于《化学镀影响物排出物规格》表三;整个150立方米/天产水回收于首测产线除垢,改用等量清爽水;危险废弃物(挥发残液+污泥干化)量比传统文化"沉淀物中+排出物"模式,减约70%。对富士康侧,首测工作节能环保市场准入卡点打架通;