佛山某半导体设备存储芯片制作厂，晶圆加工厂全过程中生产含硅、氟的特殊的污水，装修设计加工加工处理经营规模1200吨/日。污水部分僵化，内含nm级硅颗粒肥料及氢氧化钠，传统化加工加工处理措施无发达到。 废污水营养成分及主要来源 通常弄脏物 ：氢氧化铁硅（100-500nm孔径）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 源头加工过程 ：晶圆刻蚀污废水处理方法 （45%）、CMP有机化学机械化磨光污废水处理方法 （40%）、产品清洁水（15%） 工作加工注意事项 特色化应用"化学物质凝固+独特的膜区分"方法交通路线： 钙盐沉淀出的 ：添加氯化钙的还原氟化合物（形成CaF2奠定） 斜板沉淀池表现 ：和好斜板沉淀池剂保证溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm钻孔大小膜挪作他用微细颗粒状 反渗透设备性和整体 ：脱盐率>98%，收售率75% 多效蒸发晶粒 ：浓水段达到氟化物零污染物 后面疗效 氟化物酸度：<8mg/L（压低各国特一级标淮10mg/L） 硅含碳量：<5mg/L 水成本使用率：70%广泛用于水玻璃钢冷却塔保湿补水 危废处理减轻药量：挥发沉渣量较传统意义流程缩减60%