某半导体材料鑫霖环保芯片手工生产商在晶圆手工加工操作过程中,动用硅烷实施硅外延性植物生长,废气排放洗滌塔所产生高溶度含硅废渣。废渣包括pH震荡大(2-11)、硅浓度高的特色,常用净化处理措施易展现硅垢不通疑问。
废水处理方法组成及来自
化工废水重点材料为:
析出性硅酸盐
:SiO₂渗透压达1000-1500mg/L
氢氧化物钾/氢氧化物钠
:洗衣塔酸碱度洗衣液留下
颗粒剂硅
:微米级SiO₂悬浊液
痕量砷
:原材杂质残渣带进
正确处理艺程序
的创新采取"二级中合+膜过滤清洁+蒸馏结晶体"的工艺:
3级采和
:用CaO调pH至4-5,提取硅酸钙奠定,硅清理率60%。
五级采和
:加Na₂CO₃将pH上升至9,进每一步析出超过硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜机系统
:0.02μm淘瓷膜过滤系统纳米技术级硅颗粒剂,通量不稳定性在80LMH。
MVR挥发器
:溶缩高盐电镀废水,凝结出Na₂SO₄副服务,水回收率超90%。
决定实际效果
总硅从1500mg/L减少为5mg/L下
砷份量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
系統无水垢启用已超2年
每季度利用硝酸钠钠单晶体约800吨