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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料鑫霖环保芯片手工生产商在晶圆手工加工操作过程中,动用硅烷实施硅外延性植物生长,废气排放洗滌塔所产生高溶度含硅废渣。废渣包括pH震荡大(2-11)、硅浓度高的特色,常用净化处理措施易展现硅垢不通疑问。 废水处理方法组成及来自 化工废水重点材料为: 析出性硅酸盐 :SiO₂渗透压达1000-1500mg/L 氢氧化物钾/氢氧化物钠 :洗衣塔酸碱度洗衣液留下 颗粒剂硅 :微米级SiO₂悬浊液 痕量砷 :原材杂质残渣带进 正确处理艺程序 的创新采取"二级中合+膜过滤清洁+蒸馏结晶体"的工艺: 3级采和 :用CaO调pH至4-5,提取硅酸钙奠定,硅清理率60%。 五级采和 :加Na₂CO₃将pH上升至9,进每一步析出超过硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜机系统 :0.02μm淘瓷膜过滤系统纳米技术级硅颗粒剂,通量不稳定性在80LMH。 MVR挥发器 :溶缩高盐电镀废水,凝结出Na₂SO₄副服务,水回收率超90%。 决定实际效果 总硅从1500mg/L减少为5mg/L下 砷份量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 系統无水垢启用已超2年 每季度利用硝酸钠钠单晶体约800吨

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