该厂为8屏幕尺寸晶圆出产线配备的超注射用水平台，每日有含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅水分含量高易积垢，且阻值率需达到了18MΩ·cm才中水回用。原先的正确处理工学艺無法需要满足新制定的《电子技术工业园水环境破坏物排污准则》（GB39731-2020）尤为排污最大限度。 污废水 化学成分基本特征 首要环保问题物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、粒状硅（孔径0.1-1μm） 特别的需要 ：TOC<10μg/L，硼硫含量<5μg/L 环境质量属性 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物型态比较复杂 清理制作工艺工作流程 科学创新选用"梯级膜剥离+电去亚铁离子"搭配组合制作工艺： 微滤预加工 ：1μm陶瓷制品膜截拦大颗料硅，通量持续80LMH 亚铁离子调换环氧树脂 ：D201大孔聚酯树脂采用性吸附物硅酸分子结构 中级RO程序 ：第一次段再利用率60%，第2段用高脱硼膜电子器件 EDI电去化合物 ：感应电流溶解度2A/m²，延续祛除残余物阴阳离子 紫外线杀菌消毒 ：254nm红外光谱线分子量40mJ/cm² 工艺难点 开放多功能阻硅剂（有机的胺类复合型物），减慢膜被污染阶段3倍 EDI模块图片研发流道来设计，硅除去率提升自己至99.8% 线硅具体分析仪器（检测的标准0.1-500μg/L）保持有目的保持 自动运行转化效果 经第二方查测： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼占比从8μg/L减少为0.3μg/L 模式收回率从原40%不断提升至68% 膜更改周期长增加至5年，年电脑运行利润降低了35%