该晶圆制造出厂坐落在华南位置,最主要的的生产的85英寸半导体行业晶圆,单日工业废水产生量约800吨。原因的生产的时候中施用丰富氢氧化钠开展晶圆蚀刻,以至于工业废水里氟化物溶度敢达200-300mg/L,远超一个国家产生的标准(10mg/L低于)。
废水处理方法成分表及起源
生产废水最主要位于这几个阶段:
晶圆蚀刻制作工艺
:含高含量氟化物(HF)、氰化钠及少许血本属
检查是否机械化打蜡 (CMP)废水处理
:含纳米级级硅颗粒物、无机络合剂
机械清洁废水处理工艺
:含异丙醇、氟化物等有机质物
整理工艺设备程序
进行"化工沉淀物中物中+沥青混凝土沉淀物中物中+高度滤出"一级正确处理设计:
1级处里
:加药系统氯化钙和氢腐蚀钙,行成氟化钙沉定,氟化物删去率达85%
二级考试治理
:调用PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),删去固体态环保问题物
3级处里
:实现多导电介质过滤装置器和生物炭吸附物,溢水氟化物含量安全稳定在8mg/L下类
关键所在环保设备包涵:pH主动调软件系统、斜管沉积池、板框厢式压滤机(淤泥出现脱水)。
之后结果
该项目运营三年期污染统计数据资料凸显:
氟化物均匀氧浓度:7.2mg/L(不低于国度规范标准)
COD弄掉率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年收废氟化钙副货品约150吨,达到资源英文化用