半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
产品背景图
该品牌为欧洲前沿的半导体材料测封品牌,坐落广州深圳型东北部,重要做出高品质电子器件的划区和二极管封装测评。因此本省优质请求严要求,品牌来决定全面实施生活污水零摆放工程施工。品牌于22年开机启动,202几年6月完工开工,工作投资的额为200吨/日,总投资的约2000万块。
废水处理方法营养成分及渠道
这项作用片区废污水拥有以上结构特征:
容液值氟化物,注意出于晶圆切割工作后的难以清理繁琐流程,氟铝离子渗透压值高至150-200mg/L
有效纳米级级硅粉粉末,粒度分布多在100-500nm范围内
有机化学强度较高,COD在500-800mg/L
所含微量分析高价属如铅、镉等
纯水电导率高,一般是在2000-3000μS/cm
除理工艺技术的流程
为达到零直接排放阶段目标,工序设计制作突出综合考虑工业废水种类抽取和影视再生资源处理:
废水处理工艺类别收藏设计
:将含氟废液与另一个废液错开分类整理
催化析出除氟
:选用两极钙盐凝固法,密切配合高效、性价比最高凝固池
高氧化的进行处理
:老化催化剂的作用氧化的挥发难加工生产物
膜浓缩咖啡系统化
:按照DTRO碟管式反构建,精提7的倍数为10倍
挥发成果
:MVR设备过热蒸汽再压缩视频真空泵器治理 浓水
吹干系统化
:将心得盐干后最为化工副的产品外售
治疗功效
操作系统启动统计资料体现 :
氟化物洗去率>99.9%,留水氟亚铁离子<1mg/L
COD总我们要除率>98%,满水后COD<20mg/L
水自然资源回笼率>95%,仅带来极富析出盐
每月可环保再生资源回收高口感回收利用水约6万吨
晶粒盐含量改变重工业级标准的,改变市场化利于
内容不只改变了工业废水零释放,还完成资源量二手回收创造自己了约8070万/年的木制托盘利益。