半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
工程底色
该的厂家坐落在最近很多用户问我,说河南省郑州市,主要的作为中高档半导体电子器件电子器件的打包封装试验,日进行产生废蓄水量约200吨。在工作环节中便用不同电化学化学剂,废液组成成分复杂性,包含的高氧浓度铜、镍等天价属及其固化剂树酯、光刻胶等有机酸污染问题物。的厂家原来的治理配制就没有办法具备新出进行产生规格,急缺发展工程建筑。
废渣部分及起源
电镀层生产废水
:由来于IC芯片引脚主轴电镀工艺流程,带有铜、镍、锡等血本属铁离子,pH值起伏大。
充分污废水
:基本根据芯片封装胶干固、光刻工序,含带改性环氧树脂树脂、异丙醇、二甲苯等有机酸稀释剂。
耐酸碱生产废水
:引起于晶圆刷洗和蚀刻程序,含带氢钝化钠、硝酸钠、氢钝化钠等。
净化处理工艺设备流程步骤
预加工处理分阶段
酸性采和
:经过加量系统调整pH至6-9,规避前因后果工作机器设备腐蚀性。
混凝土结晶
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(PP酰胺),除掉浮悬物和地方血本属。
主要处里的时候
高级工程师氧化物
:选择Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解的难分解充分物,COD删去率达70%左右。
膜吸附
:超滤膜(UF)+反融于(RO)組合流程,进这一步虚报冒领高价属和融解性化学物质物。
程度处置分阶段
阴阳离子交換
:专门对于对于铜、镍铝离子,为了确保水流巨资属水平压低0.5mg/L。
渗透性炭过滤
:对于不可能确保,的还原残余物轻微生物碳物。
最终能够效果好
经除理后,留水水质细则完成《电子无线工业园水被污染的物尾气排放细则》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,循环率提升自己至60%,每月业绩需要用水直接费用约8070万。